Apa perbedaan antara lapisan evaporatif dan lapisan sputtering?
Film penguapan vakum adalah memanaskan bahan yang akan diuapkan hingga suhu tertentu dengan pemanasan resistensi atau balok elektron dan pemboman laser di lingkungan dengan tingkat vakum tidak kurang dari 10-2Pa, sehingga energi getaran termal molekul atau atom pada material melebihi permukaan. Oleh karena itu, sejumlah besar molekul atau atom diuapkan atau disublimasikan, dan disimpan secara langsung pada substrat untuk membentuk film tipis. Lapisan sputtering ion adalah menggunakan gerakan tinggi ion positif yang dihasilkan oleh debit gas di bawah aksi medan listrik untuk membombardir target sebagai katoda, sehingga atom atau molekul dalam target melarikan diri dan deposit di permukaan benda kerja untuk dilapisi, membentuk film yang diperlukan.
Metode yang umum digunakan untuk lapisan penguapan vakum adalah metode pemanasan resistansi, yang memiliki keunggulan struktur sederhana dari sumber pemanas, biaya rendah dan operasi yang nyaman. Pemanasan balok elektron dan pemanasan laser dapat mengatasi kekurangan pemanasan resistensi. Dalam pemanasan sinar elektron, sinar elektron yang terfokus digunakan untuk secara langsung memanaskan bahan yang dibombardir, dan energi kinetik dari balok elektron menjadi energi termal untuk menguapkan bahan. Pemanasan laser menggunakan laser daya tinggi sebagai sumber pemanas, tetapi karena tingginya biaya laser daya tinggi, itu hanya dapat digunakan di beberapa laboratorium penelitian.
Teknologi sputtering berbeda dari teknologi penguapan vakum. "Sputtering" mengacu pada fenomena di mana partikel energik membombardir permukaan tubuh (target), menyebabkan atom padat atau molekul dikeluarkan dari permukaan. dari partikel yang dikeluarkan dalam keadaan atom, sering disebut atom sputtered. Partikel sputtering yang digunakan untuk membombardir target dapat berupa elektron, ion atau partikel netral, karena ion mudah dipercepat di bawah medan listrik untuk mendapatkan energi kinetik yang diperlukan, sehingga ion sebagian besar digunakan sebagai partikel bombarding. Proses sputtering didasarkan pada debit cahaya, yaitu, ion sputtering berasal dari debit gas. Teknik sputtering yang berbeda menggunakan metode pelepasan cahaya yang berbeda. DC Two-Pole Sputtering menggunakan DC Glow Discharge; Tiga tiang menggunakan debit cahaya yang didukung oleh katoda panas; RF Sputtering menggunakan debit cahaya frekuensi radio; Magnetron Sputtering menggunakan debit cahaya di bawah kendali medan magnet annular. debit ringan.
DibDaningkan dengan lapisan penguapan vakum, lapisan sputtering memiliki banyak keunggulan. Misalnya, zat apa pun dapat tergagap, terutama elemen dan senyawa dengan titik leleh yang tinggi dan tekanan uap rendah; Adhesi yang baik antara film tergagap dan substrat; kepadatan film tinggi; Ketebalan film yang dapat dikendalikan dan pengulangan yang baik. Kerugiannya adalah bahwa peralatannya lebih rumit dan membutuhkan perangkat tegangan tinggi. Selain itu, kombinasi metode penguapan dan metode sputtering disebut pelapisan ion. Keuntungan dari metode ini adalah bahwa film yang diperoleh memiliki adhesi yang kuat antara substrat dan substrat, dan memiliki tingkat deposisi yang tinggi dan kepadatan film yang tinggi. Didirikan pada tahun 2007 sebagai nama sebelumnya Huahong Vacuum Technology, adalah profesional China Continuous Magnetron Sputtering Machines Pemasok and Pemasok mesin sputtering magnetron kontinu , termasuk tetapi tidak terbatas pada sistem sputtering, unit pelapisan optik, logam batch, sistem deposisi uap fisik (PVD), peralatan deposisi pelapis vakum yang keras dan tahan aus, kaca, pe, pelapis substrat PC, mesin roll-to-roll untuk melapisi substrat fleksibel. Mesin-mesin ini digunakan untuk berbagai aplikasi yang dijelaskan di bawah ini (tetapi tidak terbatas pada) pelapisan otomotif, dekoratif, keras, pelapis pahat & pemotongan logam, dan aplikasi pelapisan film tipis untuk industri dan laboratorium termasuk universitas. Perusahaan Teknologi Vakum Danko LTD berkomitmen untuk memperluas batas pasar kami dengan memberikan kombinasi tinggi, kinerja tinggi, dan whole-whole berkomitmen. Perusahaan kami sangat fokus pada layanan purna jual di pasar domestik dan internasional, menyediakan rencana pemrosesan bagian yang akurat dan solusi profesional untuk memenuhi kebutuhan pelanggan.
Membagikan:
Konsultasi Produk
Alamat email Anda tidak akan dipublikasikan. Bidang yang diperlukan ditandai *