Email: 
Tel:+86-13486478562
Bahasa Konsultasi Produk
Alamat email Anda tidak akan dipublikasikan. Bidang yang diperlukan ditandai *
Mesin pelapis vakum Terutama mengacu pada jenis lapisan yang perlu dilakukan di bawah vakum yang lebih tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penguapan pemanas resistensi vakum, penguapan pemanasan senjata elektron, sputtering magnetron, epitaxy balok molekul MBE, deposisi sputtering laser PLD, ada banyak jenis sputtering laser. Gagasan utama dibagi menjadi dua jenis penguapan dan sputtering.
Operasi Kabinet Kontrol Listrik
1. Nyalakan pompa air dan sumber udara.
2. Nyalakan catu daya utama.
3. Nyalakan catu daya pompa perawatan dan pengukur vakum, posisi pengukur vakum V1, tunggu nilainya kurang dari 10, dan kemudian masukkan langkah berikutnya. Butuh sekitar 5 menit.
4. Nyalakan pompa mekanis, pra-pompa, nyalakan daya pompa molekul turbo, dan mulai. Sakelar pengukur vakum diubah ke posisi V2. Dibutuhkan sekitar 20 menit untuk memompa ke bawah menjadi kurang dari 2.
5. Setelah mengamati bahwa pembacaan pompa turbomolekul mencapai 250, matikan pra-pompa, nyalakan pompa backing dan katup vakum tinggi untuk terus menyedot debu. Setelah vakum mencapai level tertentu, nyalakan pengukur vakum yang tinggi di sebelah kanan untuk mengamati ruang hampa. Hanya setelah ruang hampa mencapai 2 × 10-3, catu daya senjata elektron dapat dihidupkan.
1. Nyalakan pompa air dan sumber udara.
2. Nyalakan catu daya utama.
3. Nyalakan catu daya pompa perawatan dan pengukur vakum, posisi pengukur vakum V1, tunggu nilainya kurang dari 10, dan kemudian masukkan langkah berikutnya. Butuh sekitar 5 menit.
4. Nyalakan pompa mekanis, pra-pompa, nyalakan daya pompa molekul turbo, dan mulai. Sakelar pengukur vakum diubah ke posisi V2. Dibutuhkan sekitar 20 menit untuk memompa ke bawah menjadi kurang dari 2.
5. Setelah mengamati bahwa pembacaan pompa turbomolekul mencapai 250, matikan pra-pompa, nyalakan pompa backing dan katup vakum tinggi untuk terus menyedot debu. Setelah vakum mencapai level tertentu, nyalakan pengukur vakum yang tinggi di sebelah kanan untuk mengamati ruang hampa. Hanya setelah ruang hampa mencapai 2 × 10-3, catu daya senjata elektron dapat dihidupkan.
Operasi DEF-6B
1. Total catu daya.
2. Nyalakan kontrol senjata elektron ⅰ dan kontrol senjata elektron ⅱ catu daya secara bersamaan: tekan kontrol senjata elektron ⅰ catu daya, sakelar tunda, penundaan, catu daya dan lampu perlindungan menyala. Setelah tiga menit, lampu penundaan dan perlindungan mati. Jika pintu belakang tidak ditutup atau relai aliran air mengalami kegagalan, lampu perlindungan akan selalu menyala.
3. Ketika tegangan tinggi dihidupkan, tegangan tinggi akan mencapai lebih dari 10kV, arus balok dapat disesuaikan dengan sekitar 200mA, grid tirai adalah 20V/100mA, arus filamen adalah 1,2A, dan arus defleksi yang berayun antara 1 dan 1.7.
Urutan shutdown
1. Matikan meter vakum tinggi dan pompa molekuler.
2. Ketika tampilan pompa molekuler mencapai 50, matikan katup tinggi, tahap depan, dan pompa mekanik pada gilirannya. Periode ini memakan waktu sekitar 40 menit.
3. Saat di bawah 50, matikan pompa perawatan lagi.
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
Email: 
Address: Jalan Jinniu Barat No. 79, Yuyao, Kota Ningbo, Zhejiang Provice, Cina