Apa komponen utama dari sistem pelapisan vakum?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Apa komponen utama dari sistem pelapisan vakum?

1. Ruang Vakum

peralatan pelapis Terutama memiliki dua bentuk: jalur produksi pelapisan kontinu dan mesin pelapis chamber tunggal, pembuatan bahan stainless steel, pengelasan busur argon, perlakuan pemolesan kimia permukaan, dan berbagai spesifikasi antarmuka flensa dilas pada komponen ruang vakum.

2, bagian akuisisi vakum

Dalam teknologi vakum, bagian akuisisi vakum adalah bagian penting. Akuisisi vakum tidak dapat dicapai dengan satu peralatan dan metode vakum tunggal. Beberapa pompa harus digunakan dalam kombinasi, seperti pompa mekanik, pompa akar, sistem pompa molekuler, dll.

3, bagian pengukuran vakum

Bagian pengukuran vakum dari sistem vakum adalah untuk mengukur tekanan di ruang vakum. Seperti pompa vakum, tidak ada pengukur vakum yang dapat mengukur seluruh rentang vakum, sehingga orang telah membuat banyak jenis alat pengukur vakum sesuai dengan prinsip dan persyaratan yang berbeda. Seperti meter termokopel, meter ionisasi, meter pirani, dll.

4. Bagian Catu Daya

Catu daya target terutama mencakup catu daya DC, catu daya frekuensi menengah, catu daya pulsa, dan catu daya frekuensi radio (RF). Produsen catu daya umum termasuk AE, ADL, Hottinger, dll.

5. Sistem Input Gas Proses

Gas proses, seperti argon (AR), krypton (KR), nitrogen (N2), asetilena (C2H2), metana (CH4), hidrogen (H2), oksigen (O2), dll., Umumnya dipasok oleh silinder gas. Katup pereduksi tekanan gas, katup berhenti gas, pipa, meter aliran gas, katup solenoid, katup piezoelektrik, dan kemudian ke ruang vakum. Keuntungan dari sistem input gas ini adalah bahwa pipa sederhana dan jelas, dan mudah untuk memperbaiki atau mengganti silinder gas. Mesin pelapis tidak saling mempengaruhi. Ada juga kasus di mana beberapa mesin pelapis berbagi satu set silinder gas. Situasi ini dapat dilihat di beberapa lokakarya pelapisan skala besar. Keuntungannya adalah mengurangi hunian silinder gas, perencanaan terpadu dan tata letak terpadu. Kerugiannya adalah karena peningkatan jumlah sendi, kemungkinan kebocoran udara meningkat. Selain itu, mesin pelapis akan saling mengganggu, dan pipa satu mesin pelapis dapat membocorkan udara, yang dapat mempengaruhi kualitas produk mesin pelapis lainnya. Selain itu, saat mengganti silinder gas, perlu untuk memastikan bahwa semua mesin berada dalam keadaan non-gas.

6. Bagian Transmisi Mekanik

Lapisan mensyaratkan bahwa ketebalan pinggiran harus seragam. Oleh karena itu, harus ada tiga rotasi dalam proses pelapisan untuk memenuhi persyaratan. Artinya, sementara meja benda kerja besar diperlukan untuk berputar (i), pembawa benda kerja kecil juga berputar (II), dan benda kerja itu sendiri dapat berputar pada saat yang sama (III). Dalam desain mekanis, umumnya ada perlengkapan mengemudi yang besar di tengah bagian bawah meja meja kerja yang besar, dan beberapa roda bintang kecil menyatu dengan itu. Jika produk akan diputar, benda kerja umumnya diputar oleh garpu shift.

7, bagian pengukuran pemanasan dan suhu

Peralatan pelapis umumnya memiliki pemanas di posisi yang berbeda, dan termokopel digunakan untuk mengukur dan mengontrol suhu. Namun, karena posisi penjepit termokopel berbeda dari posisi benda kerja, pembacaan suhu tidak bisa menjadi suhu sebenarnya dari benda kerja. Untuk mengukur suhu sebenarnya dari benda kerja, ada banyak metode, Anda dapat memasang kertas uji suhu tinggi atau meter termokopel pada benda kerja.

8. Sumber penguapan dan sputtering ion

Sumber penguapan pelapisan multi-arc umumnya dalam bentuk kue bundar, umumnya dikenal sebagai target kue bundar, dan ada juga target multi-arcs persegi panjang. Magnet dipasang di dasar target. Dengan menggerakkan magnet bolak -balik, intensitas medan magnet diubah, dan kecepatan bergerak dan lintasan titik busur dapat disesuaikan. Untuk mengurangi suhu target dan basis target, basis target harus terus dilengkapi dengan air pendingin. Untuk memastikan konduktivitas listrik dan termal yang tinggi antara target dan basis target, paking timah juga dapat ditambahkan antara target dan basis target. Lapisan sputtering magnetron umumnya menggunakan katoda sputtering persegi panjang atau silindris.

9, Sistem Pendingin Air

Umumnya terdiri dari menara air dingin, mesin air es, pompa air, dll.

10, Sistem Kontrol Industri

Membagikan: