Apa prinsip kerja pelapisan ion busur katodik?

Pertama -tama, jarum yang mencolok busur (anoda) dengan potensi positif dekat dengan target (katoda) dengan potensi negatif. Ketika jarak antara anoda dan katoda cukup kecil, gas antara kedua elektroda akan dipecah, membentuk arus busur, yang mirip dengan busur yang mencolok pengelasan listrik. Pada saat ini, bagian dari N2 terionisasi untuk membentuk kation nitrogen dan elektron.

Tertarik oleh gaya medan listrik, kation nitrogen akan terbang ke katoda di dekat target, dan elektron akan terbang ke jarum pengapian busur. Namun, massa ion jauh lebih besar daripada elektron. Oleh karena itu, di bawah gaya medan listrik yang sama, jarak gerakan elektron akan lebih besar dari pada kation. Oleh karena itu, ketika elektron mencapai anoda, ion tidak akan mencapai target katoda, tetapi akan terbang ke jarum pengapian busur, lapisan akumulasi ion positif terbentuk di dekat permukaan target.

Jarak antara kation dan permukaan target katoda sangat kecil, hingga tingkat mikron. Menurut E = U / D, dapat dilihat bahwa medan listrik di ruang tinggi saat ini, yang akan "menarik" elektron keluar dari target. Elektron "ditarik" terbang dari target katoda ke lapisan akumulasi ion positif, membentuk arus. Lapisan penumpukan terhubung dengan permukaan target, dan busur dihasilkan di dekat permukaan target.

Pada saat yang sama, ion positif akan tertarik oleh permukaan target katoda, yang membuat ion positif membombardir permukaan target dan menghasilkan sputtering. Karena partikel film menguap atau tergagap perlu melewati lapisan akumulasi ion positif, dan dalam proses terbang keluar dari permukaan target katoda, partikel film akan dipengaruhi oleh busur pada permukaan target, sehingga partikel yang tiba di benda kerja adalah keadaan ionik.

Tegangan bias negatif biasanya diterapkan pada benda kerja, sehingga ion positif terbang ke benda kerja di bawah aksi kekuatan medan listrik, dan membombardir benda kerja Produsen mesin pelapis DLC . Pemboman ini akan meningkatkan adhesi film dan membuat gesekannya padat, yang sangat bermanfaat untuk meningkatkan kualitas film.

Jika Anda ingin tahu lebih banyak, Anda juga dapat menghubungi kami.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Sara

Telepon: 86-15867869979

Email: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-158678699799