Apa itu co-sputtering dan co-evaporation?

Sputtering dan penguapan termal adalah dua dari deposisi uap fisik PVD yang umum Produsen Sistem Pelapis PVD China Teknik proses pelapisan film tipis. Dilakukan di lingkungan vakum yang tinggi, metode ini berada di jantung semikonduktor, optik, fotonik, implan medis, industri auto dan aero berkinerja tinggi.

"CO" berarti timbal balik, umum - lebih dari satu. CO-Sputtering dan co-evaporation berarti lebih dari satu bahan pelapis yang diterapkan pada substrat yang memungkinkan penciptaan berbagai komposisi dan paduan baru dan luar biasa dengan kualitas unik dan luar biasa yang tidak dimungkinkan tanpa teknologi tipis yang berkembang pesat ini.
Bahan sputtering adalah di mana dua atau lebih bahan target (atau "sumber") tergagap, baik sekaligus atau berurutan di ruang vakum, dan sering digunakan dengan sputtering magnetron reaktif untuk menghasilkan film tipis yang kombinatorial seperti alloy logam atau komposisi non-logam seperti keramik.

Ini banyak digunakan dalam industri kaca optik dan arsitektur. Dengan memanfaatkan sputtering co reaktif dari dua bahan target seperti silikon dan titanium dengan sputtering magnetron ganda, indeks bias atau efek naungan kaca dapat dikontrol dengan hati-hati dan tepat pada aplikasi mulai dari permukaan skala besar, seperti kaca arsitektur, hingga kacamata hitam. Ini juga banyak digunakan memproduksi panel surya dan tampilan. Aplikasi untuk co-sputtering terus tumbuh setiap hari.

Co-sputtering menggunakan lebih dari satu katoda (biasanya dua atau tiga) di ruang proses di mana daya untuk setiap katoda dapat dikontrol secara independen. Ini dapat berarti keduanya memiliki beberapa katoda dari bahan target yang sama yang beroperasi pada saat yang sama untuk meningkatkan laju pengendapan, atau juga dapat berarti menggabungkan berbagai jenis bahan target di ruang proses untuk membuat komposisi dan sifat unik dalam film tipis.

Target silikon yang tergagap ke dalam plasma yang mengandung oksigen karena gas reaktif membentuk SiO2 yang memiliki indeks bias 1,5. Titanium tergagap ke dalam plasma dengan oksigen membentuk TiO2 dengan indeks reflektif 2,4. Dengan menggabungkan kedua target ini bahan pelapis dan memvariasikan daya untuk masing-masing magnetron ganda ini, indeks bias yang tepat dari lapisan dapat disesuaikan dan diendapkan pada kaca ke indeks bias yang diinginkan antara 1,5 dan 2,5.

Dengan cara ini, co -sputtering reaktif telah memungkinkan pembuatan pelapis film tipis pada kaca dan bahan -bahan lain dengan indeks refraksi yang dapat disesuaikan atau bertingkat - termasuk pelapis yang bahkan mengubah karakteristik reflektif dari kaca arsitektur ketika matahari tumbuh lebih kuat atau lebih lemah.
Ko-evaporasi adalah proses penguapan termal yang dapat memiliki kelebihan atau kekurangan dibandingkan dengan co-sputtering, tergantung pada aplikasi spesifik, yang paling dipahami dengan mendefinisikan perbedaan mendasar antara penguapan dan proses pelapisan PVD yang sputtering.

Dengan evaporasi bersama, bahan pelapis dipanaskan di ruang vakum tinggi sampai mereka mulai menguap atau sublimat. Ini dicapai oleh bahan sumber yang dipanaskan dan diuapkan baik dari keranjang perahu/kawat yang resistif atau dari wadah menggunakan balok elektron. Untuk mencapai tingkat keseragaman yang tinggi dengan film tipis yang diuapkan secara termal, substrat yang akan dilapisi sering dimanipulasi dengan memutarnya pada satu atau dua sumbu di dalam ruang deposisi.

Aplikasi umum film tipis evaporasi bersama dengan pelapis metalisasi pada plastik, kaca atau bahan substrat lainnya yang memberikan tingkat opacity dan reflektifitas yang tinggi, cermin teleskop, dan panel surya.

Panel surya berdasarkan Cu (IN, GA) SE2 (CIGS) telah mencapai efisiensi rekaman tertinggi di antara sel surya film tipis dengan efisiensi rekaman lebih dari 20%. Kunci keberhasilan ini adalah proses evaporasi 3-tahap yang menghasilkan gradien GA ganda mendalam dengan konsentrasi GA yang meningkat dari kedua permukaan depan dan belakang dari deposisi film tipis. Ini adalah jenis proses pencabutan efisiensi stoikiometrik yang menghasilkan di dunia nyata membuat dunia yang lebih hijau, lebih bersih, dan lebih hemat energi yang dengan cepat berkembang ke masa depan.