Bagaimana cara memecahkan ketidakseragaman film sputtered magnetron?

, Keseragaman dan arah medan magnet harus dipastikan untuk membentuk medan magnet ruang yang relatif seragam.

Kedua, keseragaman tekanan udara harus dipastikan sejauh mungkin. Saat mendesain ruang vakum, posisi pemasangan pompa vakum, jalan Pabrik mesin pelapis vakum penguapan dari proses asupan gas dan tata letak pipa proses di dalam ruang harus dipertimbangkan.

Ketiga, karena medan magnet dan tekanan udara tidak bisa benar-benar ideal, medan magnet dapat dikompensasi oleh ketidakseragaman tekanan udara untuk membuat seragam film terakhir.

Keempat, jarak dasar target juga merupakan faktor penting yang mempengaruhi keseragaman.

Membagikan: