Metode deteksi kebocoran vakum umum

Deteksi kebocoran dengan spektrometri massa helium

Teknologi ini adalah teknologi yang sangat diperlukan di bidang deteksi kebocoran vakum. Ini banyak digunakan dalam deteksi kebocoran karena efisiensi deteksi kebocoran yang tinggi, operasi yang mudah, respons instrumen sensitif, presisi tinggi dan tidak Pemasok Sistem Pelapisan PVD China mudah diganggu oleh gas lain. Detektor kebocoran spektrometer massa helium adalah sejenis instrumen deteksi keketatan gas berdasarkan prinsip spektrometri massa, yang menggunakan helium sebagai gas indikator kebocoran. Ini terdiri dari sumber ion, penganalisa, kolektor, pengukur ionisasi katoda dingin, ruang spektrometri massa, sistem pembuangan dan bagian listrik. Elektron yang dipancarkan dari filamen dalam ruang spektrometri massa berosilasi bolak -balik di dalam ruangan dan bertabrakan dengan gas dalam ruangan dan helium yang memasuki ruangan melalui lubang bocor untuk mengionisasi ke dalam ion positif. Ion helium ini memasuki medan magnet di bawah otak kiri dan kanan dari medan listrik yang dipercepat, dan membelokkan karena aksi gaya Lorentz, membentuk orbit busur melingkar dan mengubah medan listrik yang dipercepat. Tekanan memungkinkan ion dari massa yang berbeda terdeteksi dengan mencapai tiang penerima melalui medan magnet dan slot penerima. Metode injeksi helium dan metode penyerapan helium adalah dua metode yang umum digunakan dalam deteksi kebocoran spektrometer massa helium.