Bagaimana tekanan operasi dalam mesin pelapis sputtering magnetron mempengaruhi kualitas dan keseragaman lapisan yang diterapkan pada substrat?
Tekanan operasi memainkan peran langsung dalam mengendalikan laju deposisi material yang tergagap ke substrat. Pada tekanan rendah, jalan bebas rata -rata - jarak atom yang tergagap berjalan sebelu...